iH600愛德華幹（gàn）式（shì）泵（bèng）維（wéi）修

更新時間：2024-07-04

簡要描述：

iH600愛（ài）德華幹（gàn）式泵維修
iH1800 幹式（shì）泵（bèng） 380/415V，50 Hz，3 相
A59040946
技術數據
峰值速（sù）度 1800 m3h-1
1060 cfm

產品型（xíng）號：
廠商性質：經銷商
產品廠地：東莞市
訪問次數：1635

品（pǐn）牌（pái）	Edwards/英國愛（ài）德華	輸（shū）送（sòng）介質	其他
泵軸位置	其他	葉輪數目（mù）	其他
應用領域	醫療（liáo）衛（wèi）生,化工（gōng）,生物產業（yè）,能源,電子

iH600愛德華幹（gàn）式泵維（wéi）修

iH600 幹式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

技術數據

峰值速度 518 m3h-1

305 cfm

8635 l min-1

極限（xiàn）真空 2 x 10-3 mbar

1.5 x 10-3 Torr

0.2 Pa

典型軸封氮流量 4 slm

進氣（qì）口連接 ISO100

出口連接（jiē） NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量（liàng） 240 l h-1

4 l min-1

重（chóng）量 415 kg

極限（xiàn）功率輸入（rù） 3.1 kW

電機（jī）額定功率 5.1 kW

油容量 1.43 l

功（gōng）能和優勢
優化了設施消耗。
無需（xū）預防性（xìng）維護。
懸（xuán）臂（bì）軸和特殊的異型轉子便於顆（kē）粒的（de）處理。
在節省電機功率（lǜ）的同時大程度（dù）提高了工作繁重的 CVD 應（yīng）用條件下的（de）穩定性。
耐（nài）腐蝕的製造材料允許泵送腐蝕（shí）性氣體。
較高的工作溫度（dù）為避免氣體冷凝提供了充分的（de）安全保（bǎo）證。
整體（tǐ）式軸杆（gǎn）無（wú）需使用電機聯結（jié）器，而第（dì）五級泵消除了使用消音器的需要並（bìng）消除了顆（kē）粒堆積，從而降低了總體占地麵（miàn）積

概（gài）述
Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以（yǐ）按照高（gāo）工作標準運行。通過延長使（shǐ）用壽命、提高運（yùn）行時間並提高生產率，同時大程度地（dì）減小占（zhàn）地麵積、降低運行（háng）成本，實現（xiàn）了高（gāo）的（de）可靠性和性能。

iH 係列（liè）為難以執行的製程（如存在微（wēi）粒、易（yì）冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和（hé） LPCVD 製（zhì）程）提供（gòng）了高可靠（kào）性。
應（yīng）用
負載鎖
輸送（sòng）
計量
平版印刷
PVD 製程（chéng）
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰（huī）化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD