深圳XDS46i愛德（dé）華渦旋（xuán）泵（bèng）

深圳XDS46i愛德華渦旋泵

Edwards XDS 和 nXDS 係列幹式渦（wō）旋泵

Edwards 幹式渦（wō）旋泵為各種應用提（tí）供成（chéng）熟（shú）的幹式清潔真空解決（jué）方案。

當（dāng）需（xū）要（yào）無（wú）油抽空時（shí），渦旋泵是（shì）旋片（piàn）泵（bèng）的（de）替代（dài）品。

Edwards XDS35i 幹式渦（wō）旋泵（bèng）

Edwards XDS35i 幹式渦旋泵（bèng）

軸承（chéng）護罩

確保製程氣體和軸承潤滑分離，以保證清潔真空並（bìng）使潤滑不被製程氣體（tǐ）汙染，從而（ér）延長軸承使用壽命。

智能電機驅動

意（yì）味著（zhe）全程穩（wěn）定的性能（néng）、泵過載保護和遠程（chéng）啟動/停止（zhǐ）功能（néng）。

高流（liú）速氣（qì）囊功能

允許泵送蒸汽，包括高達 240 gh-1 的水（shuǐ）蒸汽

簡（jiǎn）便的單側渦旋設計

可（kě）在數（shù）分鍾內完成維（wéi）護，以降（jiàng）低擁（yōng）有（yǒu）成本並（bìng）大程度延長正常運行時間。

更（gèng）進一步

增（zēng）強型在初始抽（chōu）空（kōng）期（qī）間（jiān）可減少多（duō）達 20％ 的峰值電力需求，這意味（wèi）著它能夠在不損失性能（néng）的情況下抽空大容量腔室，且在該粗抽壓力下抽（chōu）取速度可（kě）提高達 25％，這也（yě）有助於（yú）提高應（yīng）用循（xún）環（huán）頻率（lǜ）。

XDS 幹式渦（wō）旋（xuán）泵

在（zài）幹泵真空（kōng）領域，XDS 幹式渦旋泵已成（chéng）為行（háng）業標準，在（zài）廣泛的應用（yòng）中被證明是一種堅固耐用且清潔（jié）的真空泵解決方案。

現在，結（jié）合的雙啟動渦旋（xuán）形式技術和（hé）旁通閥，Edwards 得（dé）以提供 XDS35i 增強型係列泵，以補充我（wǒ）們原有的產品（pǐn）線。

nXDS 幹（gàn）式渦（wō）旋泵

nXDS是（shì）我們（men）新（xīn）一（yī）代的渦（wō）旋泵，與其他泵相比，具有更高的（de）抽取速度（dù）、更低的極限壓力、更低的功耗和更低的噪聲（shēng）級。

nXDS 泵的設計力求實現*現場（chǎng）維修。其智能控製功能和長（zhǎng）達五（wǔ）年（nián）的維修間隔可（kě）降低擁（yōng）有成本，使其成為當今技術的小型幹泵。

產品特點：

溫（wēn）控風扇：可（kě）以在低負載條件下（xià）降低（dī）風扇轉（zhuǎn）速，從而使噪（zào）聲降至僅 52 dB(A)。

軸（zhóu）承罩：可確保將（jiāng）製程氣體與軸承（chéng）潤滑劑相（xiàng）分離，以確（què）保（bǎo）清（qīng）潔的真空環境，並避（bì）免製程氣（qì）體中的汙染物進（jìn）入潤滑劑中，從而延長軸承的使用壽（shòu）命。

變頻器驅（qū）動：範圍內泵性能*相同、易於控製、功耗降（jiàng）低和自動電壓調整特性（xìng），從而有助於打造很好（hǎo）的用戶體（tǐ）驗。

渦旋（xuán）盤經優（yōu）化設（shè）計後：轉速提高，極限真（zhēn）空比一代提（tí）高一個數（shù）量級，低到（dào）極限（xiàn）壓力（lì）僅為7 x 10-3mbar。

經優化設計的端麵密封技術（shù）：使得（dé）使（shǐ）用壽（shòu）命發生（shēng）顯著變化，就大多數應用而言，典型的端麵密封條使用壽（shòu）命達（dá）到 2 年以上。

高（gāo）流量（liàng）氣鎮特性：可實（shí）現高到 220 g/hr 的速度抽取蒸（zhēng）汽(包（bāo）括水蒸汽)。

產（chǎn）品應用：

一（yī）般清潔泵送應用，電子掃描顯微鏡-SEM，射束線和高能（néng）物理（lǐ），前級渦（wō）輪泵（bèng），超高（gāo）速離（lí）心機（jī），覆層，低溫學（xué），脫氣/硫化-油，環氧樹脂，蒸餾/萃（cuì）取/過濾，冷（lěng）凍幹燥，熔爐，凝膠（jiāo）體（tǐ）幹燥，實驗室工作（zuò）台上真空，激光、氣（qì）體（tǐ）回收和再循環，氦檢漏儀，負（fù）載鎖和傳輸腔，稀有氣（qì）體再（zài）循（xún）環（huán），稀有氣體回收（shōu），冷凍製造，研發，旋（xuán）轉離心（xīn）蒸發（fā）器（qì），SEM/FIB（離子（zǐ）束維修（xiū）），溶（róng）劑回收，表麵科學儀器。

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