真空（kōng）鍍（dù）膜機英福康振蕩器單元配薄膜控製儀

真空（kōng）鍍（dù）膜機英福康振蕩器（qì）單元（yuán）配薄膜控（kòng）製（zhì）儀

IC6 薄膜沉積控製器在 INFICON 薄膜沉積控製器可（kě）靠成熟的性能（néng）基礎（chǔ）上，增添了更（gèng）多的功能

，可幫助您實現沉積過程的大（dà）價值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻（pín）率（lǜ）測量係統，提（tí）供穩定、高分辨

率的速率和厚度測量，速率分辨（biàn）率可達每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行業中的。IC6 具有其

他石英晶體控製器比擬的（de）性（xìng）能、品質和功能（néng），賦予您的過（guò）程的可（kě）重複（fù）性。

功能（néng）

INFICON ModeLock 技術確（què）保獲得（dé）高、穩定的速率和厚度測量分辨（biàn）率，即使在速率低（dī）的情況（kuàng）下

Auto Z 技術通過自動（dòng）測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚（hòu）度（dù）測量（liàng）的精度

支持zui多六個來源同時共鍍膜

彩（cǎi）色 TFT LCD 顯（xiǎn）示屏使用戶很容易看到（dào）過（guò）程的進展狀況（kuàng）

100ms 樣本速率下頻（pín）率（lǜ）範圍為 +/-0.0035 Hz

USB 數據存儲（chǔ）功能可存儲屏幕（mù）截圖、配方存（cún）儲和數據記（jì）錄

強（qiáng）大的 I/O 憑借其靈活性（xìng）可（kě）融入（rù）簡單或複雜的係統（tǒng）（使（shǐ）用可擴展輸（shū）入 (28) 和輸出 (24 繼電器，

14 TTL 輸出)，並充分利用（yòng）邏輯功能（100 個（gè）邏（luó）輯語句）

6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可（kě）選輸出用（yòng）於來源控製（zhì）、速率或（huò）厚度監控（kòng）

可容（róng）納多 50 個過程，每（měi）個過程 200 層，這些過程關聯到一起，總共可容納 10,000 層。

多路傳感器可平均分（fèn）配（pèi）為 8 個（gè）傳感器

4 米 XIU 選件能夠在大型係統（tǒng）中使用較長的真空傳感（gǎn）器（qì）電纜

可（kě）選以太網通信（xìn）

符合 RoHS 標準

典型應用

光學鍍膜

真空鍍膜（mó）機英福（fú）康振蕩器單元配薄膜控製儀

鍍