中國（guó）台灣漢鍾iPM600螺杆泵維修

中國台灣（wān）漢鍾iPM600螺杆泵維修

IPM半（bàn）導體中度嚴苛係（xì）列 型號有iPM100,iPM600
用（yòng）途：Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant
特點：綠色（sè）製造、全新係列幹（gàn）式真空泵
      體積小、耗功低、大幅度降低成（chéng）本
      用於中度（dù）嚴苛製程的節（jiē）能泵（bèng）

漢鍾PD變（biàn）距（jù）係列幹式（shì）螺杆（gǎn）真空泵主要（yào）特點：
漢鍾螺杆真空（kōng）泵排氣路徑短，減少反（fǎn）應物沉積
hanbell幹式螺（luó）杆真空泵（bèng）相較於其（qí）他形式的真空泵，因氣體於泵內（nèi）的傳（chuán）輸路（lù）徑最（zuì）短，最不易產生反應物沉積（jī）的現象。
漢（hàn）鍾螺杆（gǎn）真空泵線形密封性佳，泵浦性能佳
Hanbell幹式螺杆真空（kōng）泵，*轉子密封線形，轉（zhuǎn）子密封性（xìng）佳（jiā），轉子能以較大的齧合間隙達到（dào）更（gèng）快的抽（chōu）氣效果，由（yóu）於漢鍾真空泵的齧合間隙（xì）較大（dà），泵（bèng）浦較（jiào）不易因製（zhì）程氣（qì）體沉積（jī）而卡死，轉子也（yě）較不易因磨耗（hào）而需（xū）更換（huàn）。
漢鍾螺杆真（zhēn）空泵結構（gòu）簡單，故障率低，維護容（róng）易
Hanbell幹（gàn）式螺杆（gǎn）真空泵（bèng）因（yīn）隻（zhī）需要利用一對轉子相（xiàng）互齧（niè）合達到（dào）密封效果，結構上（shàng）不像其他形式的真空泵需要有中（zhōng）間隔板的設計，降低轉子與隔板沉積卡死的風（fēng）險。且（qiě）因其結（jié）構單（dān）純，拆卸維修也比較（jiào）容易，因此能縮短維修時程，降低維修（xiū）費用。
漢鍾螺杆真空（kōng）泵（bèng）微電腦操作，遠端監控，保護周全（quán）
Hanbell幹（gàn）式螺杆（gǎn）泵微電腦控製器提供真（zhēn）空最簡易的操作方式並能顯示真空泵完整的運轉（zhuǎn）狀態，方便使用（yòng）者對泵應用狀態（tài）進行調（diào）整，在真空泵產生（shēng）問題前進行預防（fáng）保養（yǎng）。遠端（duān）監控係統能夠提供使用者方便（biàn）的監控工具，使用者不需到現場就能夠了（le）解（jiě）真（zhēn）空（kōng）泵的運（yùn）行狀態。
 
漢鍾螺杆（gǎn）真空泵典型應用（yòng）：
麵（miàn）板TFT-LCD, Touch Panel
太陽能Solar
冶（yě）金係統Metallurgical System
鍍膜Coating
電（diàn）漿製（zhì）程Plasma processes
幹燥處理Drying Process
製程氣體抽（chōu）取（qǔ）Degassing
生（shēng）技/製藥Biotech/Pharmaceutical
化工（gōng）產業Chemical Industry
鋰電池Battery

PA油螺杆真空泵型號PA350VSD+,PA585VSD+,PA730VSD+,PA900VSD+,PA1300VSD+,PA1600VSD+,PA1900VSD+
PA VSD+係列真（zhēn）空泵是（shì）一款節（jiē）能，環保的永磁（cí）變頻微油螺（luó）杆真空泵（bèng）。

高（gāo）效能（néng）

得益於變頻驅動控（kòng）製，PA VSD+可提供所需的流量而不會（huì）過（guò）量，避（bì）免浪費能（néng）源。新型（xíng）的螺（luó）杆型線設計，性能（néng）提升。采用IE4高效永磁電機直接驅動，的降低功耗（hào）。

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