半（bàn）導體（tǐ）PS2002/PS2202漢（hàn）鍾螺（luó）杆泵（bèng）維修保養

半導體（tǐ）PS2002/PS2202漢（hàn）鍾螺杆泵維（wéi）修保養（yǎng）

PS係列螺（luó）杆真空泵

定螺距螺杆轉（zhuǎn）子（zǐ）特（tè）點（diǎn）：

1、結構簡（jiǎn）單，故障率低，成本較低（dī），易維修

2、高壓段功耗相對低，適（shì）用（yòng）於（yú）高負載應用場合

3、排氣路（lù）徑短（duǎn），減（jiǎn）少反應物（wù）沉積

適（shì）用一般（bān）真空鍍膜、烤（kǎo）箱、熱處理、太陽能（néng）產（chǎn）業、半導體麵（miàn）板（bǎn）業製程

PS係列螺杆真空泵型（xíng）號：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD係列螺杆真空泵型（xíng）號：PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高壓段抽速快

能耗可（kě）降低30%以上

氣冷（lěng）馬達機型可（kě）搭配自循環冷（lěng）卻係統，能使用在無冷卻（què）水的係（xì）統環境（jìng）

可提供符合（hé）ATEX標準的（de）產品（pǐn）

變螺（luó）距螺杆轉（zhuǎn）子特點：

1，運行溫度低，適用於要求泵體表麵及排氣（qì）溫度低的場合。                2，運轉功（gōng）耗低，適用（yòng）於（yú）輕負載應用場合，更節能。                        3，運行（háng）噪（zào）音更低，適（shì）用於運行噪音（yīn）低（dī）的場合，如：貼合機，無塵室。

4，相同長度轉子，抽氣（qì）量更大。適（shì）用於大抽（chōu）氣量的真空需求。

真空（kōng）壓力：≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa

漢鍾PS係列、PD係列（liè）維修（xiū）

維修步（bù）驟：

1、螺杆（gǎn）泵來（lái）料檢驗，真空度、運行時間、振動（dòng）值、驅動器、電氣參數。

2、全部拆卸（xiè），油汙（wū）清潔，打磨。

3 、按“螺杆（gǎn）泵維（wéi）修處理通知單"更（gèng）換所必（bì）需的零件，如：軸承（chéng）、軸套（tào）、套筒（tǒng）、密封圈、齒輪，以確保可靠的優質服務和泵（bèng）浦使用壽命。

4、泵的（de）平（píng）衡，利用平衡和分析（xī）設備，調試佳的狀態，以減少噪音（yīn）、振動，延長（zhǎng）軸承（chéng）壽命。

5、測試檢查（chá），參照原廠參數檢測，結合客人實際（jì）要求與螺杆泵磨損

PMF半導體幹淨係列

用途：Semi conductor，Load lock，TFT-LCD，Touch Panel，Solar，Coating，Plasma Process，Drying Process，Degassing

PMF係列型號（hào）有（yǒu）PMF100，PMF120，PMF612

半導體（tǐ）PS2002/PS2202漢鍾螺杆泵維修保養